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Please use this identifier to cite or link to this item: http://ntour.ntou.edu.tw:8080/ir/handle/987654321/47048

Title: 應用原子級有限元素模型於IC銲墊破壞分析
Authors: 邱進東
Contributors: 國立臺灣海洋大學:系統工程暨造船學係
Date: 2007
Issue Date: 2018-06-29T01:15:40Z
Publisher: 行政院國家科學委員會
Abstract: 摘要:因半導體製程技術的提昇,線寬與體積不斷的縮小,使得原本設計於導線與測試 用的銲墊也必須跟隨的縮小尺寸。在銲墊縮小之後,早期不常發生的問題,如探針滑 移量過大、銲墊的滑移層破裂,這些都是在探針卡設計時所面臨的新問題。 本計畫分為兩年進行,分別敘述如下: 第一年發展一新型三維原子級有限元素模型。不同於連續系統,對於微觀系統而 言,粒子的運動軌跡是由粒子與粒子間的作用力所決定,由於粒子間之勢能函數的不同 而影響模擬結果,本計畫擬採用Morse 勢能函數來模擬粒子與粒子間的作用力。並使用 非線性彈簧與阻尼元素及集中質量來建立原子模型,集中質量位於節點上,用來模擬原 子質量;非線線彈簧連接相鄰的節點,用來模擬兩原子間的鍵結,產生斥力與吸力,並 以彈簧的斷裂伸長量,模擬原子鍵的截斷長度。最後以三維原子模型之拉伸與壓縮為 例,模擬其應力與應變關係,求出楊氏係數與波松比,並與分子模擬軟體Material studio 模擬結果做比較,以確定原子級有限元素模型之可行性。 第二年模擬懸臂式探針測試過程。以三維原子級有限元素模型來模擬IC 銲墊銅與 鋁微結構,懸壁式IC 探針大多以鎢合金為材料,將其視為剛體以實體元素模擬,與原 子模型間採用有限元素法的面對節點的接觸演算,以模擬整個測試過程,求出探針在銲 墊上的接觸力及滑移量,評估銲墊的破損程度,並探討不同針壓與針尖形狀對銲墊破損 的影響。最後進行IC 測試實驗,應用原子力顯微鏡量測得銲墊破壞後的外觀,並與模 擬結果做比較,以說明模擬的可行性。
URI: http://ntour.ntou.edu.tw:8080/ir/handle/987654321/47048
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