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Please use this identifier to cite or link to this item: http://ntour.ntou.edu.tw:8080/ir/handle/987654321/43187

Title: 具對準功能之奈微米元件超晶圓尺寸模具製作
Authors: 蔡金榮;吳志偉
Contributors: 國立臺灣海洋大學:機械與機電工程學系
Keywords: 大面積精密模具;側向接合技術;被動式對準機制
Date: 2005
Issue Date: 2017-06-08
Publisher: 國立臺灣海洋大學
Abstract: 摘要:傳統精密模具製作成大面積且具有微結構之技術相當困難;反觀以微機電製程技術可輕易製作微結構但卻受限於晶圓尺寸而無法製作大面積。因此,本論文除成功地驗證矽晶圓側向接合技術之可行性外,另利用被動式對準機制,用以改善矽晶圓於側向接合的高低差、間隙、翹曲等問題,並達成奈微米級結構精密定位之技術。所謂被動式對準機制乃是在(100)矽晶圓上製造出v型溝槽,並在接合時於槽中放置光纖,藉光纖相互耦合效果達到降低接板翹曲的問題,並確保不同接板之奈微米結構於接合後仍能精密對準。以溼式非等向性蝕刻技術,製作被動式對準機制、微結構、與光滑之側向蝕刻面進行接合,再利用PDMS將接板表面複製。藉由此種技術,本研究已成功地將接合表面高差控制於0.29μm之內;接合間隙控制於31.0μm之內;對準誤差控制在10.0µm之內;接板翹曲控制在0.09∘之內。而複製部分亦將接合表面高差、間隙分別控制於微米的程度。此外,鑑於模具壽命的考量下,另採用電鍍法將矽晶圓模具轉換成具對準功能之奈微米元件鎳模具。相信此概念與成果將能解決精密模具面積不足之困擾,並提供降低模具成本的方法,更能提高精密模具製作技術。
URI: http://ntour.ntou.edu.tw:8080/ir/handle/987654321/43187
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