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Please use this identifier to cite or link to this item: http://ntour.ntou.edu.tw:8080/ir/handle/987654321/41837

Title: 溶膠凝膠法製作熱屏障中間層運用於被覆含氮類鑽碳薄膜之燒結碳化鎢的高溫氧化特性與機械性質
Authors: 周昭昌
Contributors: 國立臺灣海洋大學:機械與機電工程學系
Date: 2013
Issue Date: 2017-04-06T01:11:30Z
Publisher: 行政院國家科學委員會
Abstract: 摘要:本計畫研究具有耐熱屛障中間層之燒結碳化鎢底材上被覆含氮碳膜的機械性質 與氧化特性,其中間層係利用溶膠 -凝膠製成之浸漬覆膜方法分別製作 Mullite (3Al2O3·2SiO2)和 Al2O3+TiO2 複合膜而成,是具有高溫抗氧化能力的熱屏障層,最外層 的含氮碳膜則是以射頻電漿輔助化學氣相沉積系統調整 CH4 與 N2 比例,以及工作壓力 製備。實驗對象分成原始鍍膜試片,以及經過在低氧分壓氣氛下進行不同持溫溫度與 不同循環周次之高溫氧化試片。透過表面輪廓儀與橢圓儀量測其膜厚,拉曼光譜儀、X 光繞射儀、傅立葉轉換紅外線光譜儀與 X 光光電子能譜儀分析在不同參數與不同加熱 條件下之薄膜結構、官能基與元素之變化。由奈米壓痕試驗、刮痕實驗和磨耗實驗, 比較不同氧化溫度與熱循環周次的薄膜硬度、結合強度以及摩擦係數。耐熱屛障中間 層與碳化鎢底材,及外層之含氮碳膜的綜合性能與界面材質關係,是本計畫的探討重 點。希望能透過國際合作的方式,研究並提供改善碳化鎢光學玻璃壓鑄模具的最佳製 程方法。
URI: http://ntour.ntou.edu.tw:8080/ir/handle/987654321/41837
Appears in Collections:[機械與機電工程學系] 研究計畫

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