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Please use this identifier to cite or link to this item: http://ntour.ntou.edu.tw:8080/ir/handle/987654321/41835

Title: 溶膠凝膠法製作之熱屏障中間層於具有類鑽碳表層之兩種底材的抗氧化性與結合性
Authors: 周昭昌
Contributors: 國立臺灣海洋大學:機械與機電工程學系
Date: 2014
Issue Date: 2017-04-06
Publisher: 科技部
Abstract: 摘要:本計畫研究具有耐熱屛障中間層之燒結碳化鎢與鈦合金底材上被覆類鑽碳薄膜 的抗氧化特性與結合強度,其中間層係利用溶膠-凝膠製程之浸漬覆膜方法分別製作不 同比例之 Al2O3 和 SiO2 非晶質複合膜而成,是具有抗氧化能力的熱屏障層,最外層的 功能性類鑽碳膜,則是以射頻電漿輔助化學氣相沉積系統調整 CH4 與 N2 或 CF4 比例以 及工作壓力製備。實驗對象分成原始鍍膜試片,以及分別經過在空氣中以不同持溫溫 度氧化試片。透過表面輪廓儀與橢圓儀量測其膜厚,以電子顯微鏡(SEM 和 FIB-TEM)、 拉曼光譜儀、X 光繞射儀、傅立葉轉換紅外線光譜儀與 X 光光電子能譜儀分析在不同 參數與不同加熱條件下之薄膜結構、官能基與元素之變化。由奈米壓痕試驗和刮痕實 驗,比較不同氧化溫度的薄膜硬度、結合強度以及摩擦係數。耐熱屛障中間層與兩種 底材,及外層之類鑽碳膜的綜合性能與界面材質關係,是本計畫的探討重點。希望能 透過國際合作的方式,研究並提供改善這兩種材料在光學玻璃模具以及生醫植入物之 運用時的最佳製程方法。
URI: http://ntour.ntou.edu.tw:8080/ir/handle/987654321/41835
Appears in Collections:[機械與機電工程學系] 研究計畫

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