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Please use this identifier to cite or link to this item: http://ntour.ntou.edu.tw:8080/ir/handle/987654321/33699

Title: 國立海洋大學貴重儀器共同使用服務計畫
High-Resolution Field-Emission Scanning Electron Microscope
Authors: 黃榮潭
Contributors: 國立臺灣海洋大學:材料工程研究所
Keywords: 高解析度場發射型掃描式電子顯微鏡(HR FE-SEM;HITACHI S-4800及HITACHI S-4100)
Date: 2011-01
Issue Date: 2013-05-15T02:52:00Z
Publisher: 行政院國家科學委員會
Abstract: 摘要:隸屬於國立台灣海洋大學材料工程研究所之高解析度場發射型掃描式電子顯微鏡(HR FE-SEM, HITACHI S-4800及HITACHI S-4100),前者是北部地區極少數現使用中之機型新穎且儀器狀況最好的一台機組系統,亦是第一部在北部地區開放使用的高解析度場發射型掃描式電子顯微鏡。 本所儀器設備SEM 本體(HITACHI S-4800)之機台狀況及維護均佳,真空度達<2x10-7 Pa之壓力(電子槍室),因此,電子槍之燈絲可逾5,000小時壽命,解析度仍非常好。另外,另一機型SEM (HITACHI S-4100)由於機台年份已久,導致於機台有許多地方損壞,IP 系統因未能找到相符合之設備更換且因年份已久不堪使用,目前仍屬停機狀態並已將其列入汰換行列。 目前,在北部地區貴會補助高解析度掃描式電子顯微鏡屈指可數,為順應目前研究之趨勢─次微米或奈米級之研究課題,使用高解析度掃描式電子顯微鏡實為時勢所趨。而國內類似之儀器排隊預約耗時(逾月餘以上),故本儀器(高解析場發射型掃瞄式電子顯微鏡)加入有助於舒緩其他儀器之使用量。
Relation: NSC100-2731-M019-001
URI: http://ntour.ntou.edu.tw/handle/987654321/33699
Appears in Collections:[材料工程研究所] 研究計畫

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