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Please use this identifier to cite or link to this item: http://ntour.ntou.edu.tw:8080/ir/handle/987654321/17695

Title: 相變化材料雷射奈米加工研究
Laser Nano Processing on Phase-change Materials
Authors: 邱冠焴
Contributors: NTOU:Institute of Optoelectronic Sciences
國立臺灣海洋大學:光電科學研究所
Keywords: 相變化材料
Date: 2008
Issue Date: 2011-07-04
Abstract: 本論文我們嘗試利用光的熱能量來製作出小於次波長的奈米結構。我們使用對熱能敏感的相變化材料Ge2Sb2Te5作為樣品,並且使用氦氖(He-Ne)紅光氣體連續雷射做為光源,此雷射波長633nm,功率35mW。樣品放置於奈米平移台上利用移動台移動來製作出我們想要的結構,製作完成的樣品送至原子力顯微鏡做線寬量測,並且利用CCD拍攝穿透圖及反射圖。 我們濺鍍上各種不同膜厚的Ge2Sb2Te5層,實驗相變化層膜厚的改變是否對雷射寫下的結晶線寬影響,接著改變雷射寫入功率,探討雷射寫入功率對結晶線寬的影響。由於奈米平移台的移度速度可由電腦操作,因此我們改變平移台的移動速度,實驗平移台移動速度對結晶線線寬的影響,最後藉著改變雙線間距,針對雙線之間尚未相變化的部分做線寬量測。 有了以上實驗的參數,我們嘗試製作各種不同的奈米結構,我們製作的有圓陣列、螺旋陣列、Chiral結構以及西洋棋盤結構。實驗結果顯示利用此系統我們可以以簡單、快速且低成本的方式製作出小於次波長的奈米結構。 由於製作出來的結構因為本身材料特性的不同,未來我們可以利用蝕刻的方式製作出各種不同的光學元件。
URI: http://ethesys.lib.ntou.edu.tw/cdrfb3/record/#G0M95880057
http://ntour.ntou.edu.tw/ir/handle/987654321/17695
Appears in Collections:[光電科學研究所] 博碩士論文

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