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Please use this identifier to cite or link to this item: http://ntour.ntou.edu.tw:8080/ir/handle/987654321/10274

Title: 新型狹縫式塗佈機構之技術發展
Technical Development of a Novel Slot Coating Mechanism
Authors: 傅群超;蔡循恒
Contributors: NTOU:Department of Mechanical and Mechatronic Engineering
國立臺灣海洋大學:機械與機電工程學系
Date: 2006-08
Issue Date: 2011-06-28T07:38:18Z
Publisher: 行政院國家科學委員會
Abstract: 摘要:在狹縫式塗佈製程中,塗佈液吐出流量、塗佈位置、塗佈模具與被塗佈基板間之 相對速度、塗佈液吐出口與基板間之間隙、兩者之平行度、再現性與穩定性等均是影 響塗佈品質之重要參數。其中,影響膜厚均勻度的因素,除輸送塗佈液幫浦之流量穩 定度外,塗佈機台相關運動機構之精度及塗佈裝置與基板間隙之平行度亦是關鍵因 素。以現存塗佈機之運動機構而言,通常包含一水平移動平台及一垂直運動機構。本 計畫擬採用線性馬達來驅動平台。垂直運動機構方面,因同樣須考慮到精度、響應特 性及保養方便性等,所以本研究同樣考慮以超音波馬達取代傳統以導螺桿驅動之垂直 移動機構。另一個注意之處是平台本身表面的平面度,由於精度誤差是累加的,故在 制訂總體精度規格時,本計畫均會將各種可能之誤差來源都考慮進去。此外,欲使用 模塗料器在被塗佈基板上形成膜厚均勻之塗膜時,須將塗佈液吐出口所有寬度範圍內 與被塗佈基板間之間隙保持一定。亦即平行度之要求亦非常高,否則會造成被塗佈基 板兩側之膜厚不均一。為達到此要求,本計畫擬增加一創新之精密六連桿機構。此精 密調整機構配合超音波馬達,即可構成一組可即時調整間隙及平行度之自動化伺服機 構。其中長型模塗料器兩端與被塗佈基板間之距離,擬採用非接觸式之精密雷射位移 感測器。
Relation: NSC95-2221-E019-028
URI: http://ntour.ntou.edu.tw/ir/handle/987654321/10274
Appears in Collections:[機械與機電工程學系] 研究計畫

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